IT2800系列高精密源测量单元

IT2800系列是外观紧凑、经济高效的台式源测量单元，简称源表或SMU。它集6种设备功能于一体，综合了四象限电压源，电流源，6.5位数字万用表、脉冲发生器、电池模拟器以及电子负载功能。全系列覆盖了10fA到10A的电流范围以及100nV到1000V的电压范围。除了直流工作模式之外，IT2800系列SMU还能够进行脉冲测量，以防止器件自身发热导致测量结果出现误差。5寸触摸显示屏，使源表具有图形用户界面以及各种显示模式，帮助工程师显著提高测试效率。广泛应用于分立半导体器件、功率芯片、无源器件、光电器件、微功耗量测以及材料研究等领域。

产品特点

♦5英寸触摸显示屏，提供直观的图形化和数字化显示模式
♦集六种设备功能于一体：电压源、电流源、6 ½数字万用表（DCV,DCI, ohms）、电池模拟器、电子负载及脉冲发生器
♦ 四象限输出及量测功能，支持两线制和四限制量测
♦ 分辨率最高可达10fA/100nV，采样率最高可达10us

♦ Graph view、Scope view及Record view三种图形显示模式

♦ SWEEP扫描模式：Linear/Log/ Pulsed Linear/ Pulsed Log及LIST
♦ 多达16台设备同步功能，具备并行测试能力
♦ 内建电阻、功率和Math测量功能
♦ 前置USB接口用于数据存储、截屏或测试配置导入
♦ 内置接口：Digital IO、USB、LAN

产品功能与优势

六合一高精密源表，降低测试成本

IT2800系列SMU为工程师提供了一种即经济又高效的解决方案。它集六种设备功能于一体，将不同输出和测量能力整合到紧凑的1/2 2U尺寸中，可精确地输出电压或电流以及同时测量电压和/或电流。它兼具以下仪器的功能：四象限电压源、电流源、61/2数字万用表、脉冲发生器、电池模拟器以及电子负载。

直观的图形化显示，快速获取产品特性

IT2800系列SMU的前面板有许多功能，以提高交互式使用的速度，用户友好性和易操作性。这些功能包括5英寸彩色LCD触摸显示屏，USB 2.0 memory I/O端口、一个旋转导航按钮、trigger按键、功能按键以及主流的香蕉插座。USB2.0内存端口支持轻松的数据存储，测试配置文件导入以及系统升级。IT2800提供图形化和数字化两种测量结果显示模式，直观的Graph view，Scope view以及Record view视图，极大地提高了台架测试和I-V特性分析的效率。

标准扫描和列表扫描功能

IT2800系列SMU具备标准和列表LIST扫描功能。标准SWEEP模式下，支持线性和对数模式，单次和双次扫描功能以及恒定和脉冲扫描功能。列表LIST扫描功能可以有效地执行任意波形输出，在表征响应随应用电压或电流而变化的测试中非常有用，用户可以使用Excel导入或面板编辑的方式，生成一个任意形状的扫描曲线，最多可以导入99999点数据，是U-I和I-U特性测试的选择。

限值测试，提升批量产品排序效率

限值测试是对由通道获取的测量数据或数学运算结果数据进行通过/ 失败判断，最多可定义12 个限值测试（LIMIT1~LIMIT12）。每 一个限值测试状态分别对应12个Digital IO端口。当测试通过或失败时，相应的Digital IO对外输出脉冲信号，从而实现生产线批量 产品的排序（sorting）或分级（grading）测试。

四线制欧姆量测，获得更准确的低内阻量测

IT2800系列SMU支持4线制测量功能，以解决在测量小电阻时，固 有的线缆电阻带来的测量误差问题。在四线制方案中，其中两个连 接器强制提供电流，另外两个连接器测量电压。由于测量电压的连 接器没有任何电流流过，因此，这种方案可以准确地感知DUT的实 际电压。

电池模拟器功能

得益于源表的四象限工作特性，IT2800系列产品不仅可作电压源，电流源，6位半数字万用表，还内置了专业的电池模拟器功能，以帮助工程师更好地研究电池特性对DUT功耗及性能可靠性的影响。您可以通过自定义（SOC-VOC-R）或常规参数设定模式快速生成电池曲线，并可以任意指定电池的初始SoC状态，而无需像使用真实电池一样等待充电或放电，极大地提升了研发和生产测试效率。

大容量缓存提升测试吞吐量

对于需要高自动化水平和吞吐量的测试应用，IT2800系列SMU具 有 大 容 量 缓 存 区，M e a s u r e 量 测 最 多 可 存 储 1 0 0 万 点 输 出， source-measure量测最多可存储100万点数据，工程师可以在量 测同时批量读取缓存区数据，以实现高速数据采集，同时减少单条 指令模式下的数据传输时间。

多通道级联，轻松实现并行测试

IT2800系列SMU提供多通道扩展的应用，通过后背板的光纤端口可以使最多16台源表设备相互连接，并作为一个单一的，紧密同 步的多通道系统使用。每通道仪器能够运行独立的自己的测试序列，实现一个完全多线程的测试，以满足先进半导体的测试研究 以及批量产线测试应用。

具备四象限及脉冲输出能力

IT2800系列SMU可工作在四象限区域，其中一、三象限为 source模式，二、四象限为Sink模式。IT2800系列具备6位半 数字万用表功能，分辨率最高可达100nV/10fA。全系列机型 均提供DC和pulse两种输出模式。其中IT2806机型还提供高 达10A的脉冲输出能力，非常适用于半导体晶圆水平上的器 件测试，如VCSEL、激光二极管和LED，保护DUT。

专业I-V 特性及半导体参数测试软件

I-V特性软件为用户提供友好的GUI，可以通过设备标配的USB/LAN接口与PC连接，快速进行I-V测量。软件提供多个测试功能模 块，包含IV特性分析，IV tracer，限值测试、电池测试及电池模拟等。 半导体参数测试软件提供快速且强大的半导体动静态参数测试方案。软件预置了多种类型的半导体器件供选择，用户可以通过拖 曳的方式快速进行SMU的配置，图形化的UI界面简单易操作，加速工程师的测试研究进程。